精仪系微米纳米技术实验室

04.微米纳米技术研究实验室

微米纳米技术研究实验室位于精仪系系馆一层C区，实验面积600余平方米，隶属于仪器科学与技术研究所。这里按照研究和设备使用需求，设置了微纳器件真空测试、微流场测量、扫描电子显微观察和模拟设计等不同功能空间，形成了从计算分析到实物检测相衔接的实验环境。由于研究对象尺寸小、测量精度高，实验室需要根据设备和样品的要求控制温度、洁净度或气压，并配置相应的信号采集与分析系统，使器件的细微变化能够被稳定地记录下来。

其中，精密恒温实验区采用千级洁净环境，系方公开资料标注的温度控制精度为±0.02℃。精密测量中，很小的温度变化也会通过材料的热胀冷缩影响测量结果，因此恒温空间本身就是测量系统的一部分。MEMS/NEMS真空测试室则利用真空测试装置，为微机电和纳机电器件提供受控的测试条件。封闭的实验环境、独立的仪器工作区和成套检测设备，共同构成了这一空间的技术特征。实验室将环境控制与仪器配置结合起来，为微型器件的性能测试和系统集成提供条件。